场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)
Field Emission ScanningElectron Microscope (FE-SEM)
| 设备参数： 品牌：Thermo Fisher Scientific 型号：Apreo 2 S HiVac Apreo2S高性能场发射扫描电镜搭载独特的实时元素成像功能和先进的自动光学系统，实现灰色区域解析，具有多功能性和高质量成像性能。 测试项目：微观形貌、能谱点扫、能谱线扫、能谱面扫(mapping)、元素分析、微观组织分析、取向分析等。 测试参数： 束流范围：1pA~50nA 加速电压：200V-30kV 加速电压：X-Y-Z110mm-110mm-65 mm；能谱仪有效面积65mm；轻元素分析灵敏，可测Be元素及之后的元素；EBSD像素分辨率最高达1244*1024，可快速集。 |
聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM）
Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope（FIB-SEM）
| 设备参数： 品牌：Thermo Fisher Scientific 型号：Helios 5 CX Helios 5 CX 可实现极高分辨率成像和较高的材料衬度，还可实现快速、简单、精确的高质量样品制备。系统不仅配置最先进的电子和离子光学系统，还采用了一系列最先进的技术，可实现简单一致的高分辨率 S/TEM 和原子探针断层扫描（APT）样品制备，以及最高质量的内部和三维表征。 测试项目： 材料的高分辨形貌分析、TEM及APT样品制备、微纳米加工及刻蚀于沉积功能、高精度截面切割、X射线能量色散谱（EDS）分析、连续切片3D重建表征等。 测试参数： 束流范围：0.8 pA to 176 nA 加速电压：200V-30kV 着陆能量范围:20 eV-30 keV 离子束流范围:1 PA-100 nA 交叉处离子分辨率:4.0 nm @30 kV |
